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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
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AT-200MAnric原子層沉積系統(tǒng)
Anric原子層沉積系統(tǒng)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào) AT-200M
  • 品牌 其他品牌
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市

更新時(shí)間:2025-03-11 16:01:42瀏覽次數(shù):846

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【簡(jiǎn)單介紹】
產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,電子,電氣
占地面積小的桌面系統(tǒng)(< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)
具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。
4 英寸圓形卡盤可定制,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高)。
3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。
整個(gè)加熱管線(從前體到腔室)。
高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式
全鋁(半導(dǎo)體級(jí))腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C
【詳細(xì)說(shuō)明】
  • 占地面積小的桌面系統(tǒng),兼容無(wú)塵室。

  • 占地面積小的桌面系統(tǒng)(< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)

  • 具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。

  • 4 英寸圓形卡盤可定制,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高)。

  • 3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。

  • 整個(gè)加熱管線(從前體到腔室)。

  • 高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式

  • 全鋁(半導(dǎo)體級(jí))腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C

  • 7″ 觸摸屏 PLC 控制器(無(wú)需 PC)

  • 包括終身軟件升級(jí)

  • 1 年保修(包括零件)

  • AT610

  • 全鋁(半導(dǎo)體級(jí))腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C

  • 具有超快 MFC 的高溫半導(dǎo)體級(jí)快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。

  • 6″ 圓形卡盤(7″ 方形)可定制為更小的尺寸或其他形狀(11 毫米高)。

  • 流線型腔體設(shè)計(jì),腔體體積小

  • 3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。

    • 前體可以加熱到 150°C。

  • 整個(gè)加熱管線(從前體到腔室)。

  • 簡(jiǎn)單的系統(tǒng)維護(hù)和市場(chǎng)上的公用事業(yè)和前體使用

  • 高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式

  • 7″ 觸摸屏 PLC 控制器(無(wú)需 PC)







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