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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營產(chǎn)品: 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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參考價(jià) | ¥60-¥100 | /件 |
更新時(shí)間:2025-03-11 15:45:38瀏覽次數(shù):5184
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
價(jià)格區(qū)間 | 50萬-100萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,電氣 |
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一、原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):
1.腔體材質(zhì):全鋁鋁質(zhì)腔體;
2.樣品臺(tái)尺寸:處理最大直徑6英寸樣品;
3.基片加熱溫度:室溫~315℃±1℃;
4.液體源:一路高蒸氣壓液體氧化劑(H2O或H2O2),3路固體或液體金屬源;
5.可變過程壓力控制0.1至1.5Torr;
6.ALD閥:Swagelok快速高溫ALD專用閥;
7.載氣系統(tǒng):N2,壓力30Psi;
8.生長(zhǎng)模式:連續(xù)和停留沉積模式任意選擇;
9.控制系統(tǒng):16位7英寸彩色觸摸屏PLC操作控制;
10.4個(gè)世偉洛克熱敏ALD閥門;
11.5個(gè)高溫劑量容積填充閥;
12.帶輔助彎頭加熱器的保形加熱套,操作溫度室溫至150℃;
13.帶閥門的50ccSS前體瓶,波紋管密封高溫兼容閥;
14.Fujikin金屬密封,200sccmMFC流量質(zhì)量控制器,用于N2或Ar吹掃流量控制;
15.基于雙溫探頭的腔室加熱器控制系統(tǒng)和探頭故障保險(xiǎn);
16.OEM 2級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵,抽速18 cfm,極限真空3mtorr,包括Flomblin用于PFPE油;
二、原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)
精準(zhǔn)控制:薄膜厚度可精確至亞納米級(jí)(0.1 ?/cycle),重復(fù)性誤差<1%。
高均勻性:在復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)(如納米線、多孔材料)表面實(shí)現(xiàn)均勻覆蓋。
低溫工藝:部分機(jī)型支持室溫至300℃以上,范圍沉積,兼容熱敏感基材(如聚合物、生物材料)。
前驅(qū)體兼容性:支持金屬有機(jī)化合物、鹵化物、等離子體增強(qiáng)(PEALD)等多種反應(yīng)模式。
原位監(jiān)測(cè):集成石英晶體微天平(QCM)、橢偏儀或光學(xué)反射儀,實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜生長(zhǎng)。
三、原子層沉積系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:高介電材料(HfO?、Al?O?)、晶體管柵極、DRAM電容薄膜。
新能源:鋰離子電池電極包覆層、燃料電池催化劑涂層。
光電子器件:OLED封裝層、光伏器件鈍化層。
納米技術(shù):量子點(diǎn)涂層、MEMS器件防水/防腐蝕膜。
生物醫(yī)療:生物傳感器表面功能化、植入器械抗菌涂層。
四、目前可以沉積的材料包括:
1)氧化物: Al2O3, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2, SnO2, ZnO, La2O3, V2O5, SiO2
2)氮化物: AlN, TaNx, NbN, TiN, MoN, ZrN, HfN, GaN
3)氟化物: CaF2, SrF2, ZnF2
4)金屬: Pt, Ru, Ir, Pd, Cu, Fe, Co, Ni
5)碳化物: TiC, NbC, TaC
6)復(fù)合結(jié)構(gòu)材料: AlTiNx, AlTiOx, AlHfOx, SiO2:Al, HfSiOx
7)硫化物: ZnS, SrS, CaS, PbS
五、提供售后服務(wù)安裝調(diào)試培訓(xùn);
原子層沉積(ALD)系統(tǒng)的售后服務(wù)致力于為客戶提供全面支持,包括設(shè)備安裝調(diào)試、操作培訓(xùn)、技術(shù)咨詢及定期維護(hù)。我們的專業(yè)團(tuán)隊(duì)確保設(shè)備高效運(yùn)行,快速響應(yīng)故障排查與維修需求,并提供備件更換和軟件升級(jí)服務(wù),以延長(zhǎng)設(shè)備壽命并保障生產(chǎn)效率??蛻艨赏ㄟ^熱線或在線平臺(tái)隨時(shí)聯(lián)系我們,享受定制化的解決方案。