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邁可諾技術(shù)有限公司

主營(yíng)產(chǎn)品: 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī)

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洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來(lái)城A棟
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共計(jì) 4 條產(chǎn)品信息

產(chǎn)品圖片 產(chǎn)品名稱
GEMStar XT臺(tái)式原子層沉積系統(tǒng)
GEMStar XT臺(tái)式原子層沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)單介紹:產(chǎn)品特點(diǎn)
美國(guó)ARRADIANCE公司的GEMStar XT系列臺(tái)式 ALD系統(tǒng),在小巧的機(jī)身(78 x56 x28 cm)中集成了原子層沉積所需的所有功能,可zui 多容納9片8英寸基片同時(shí)沉積。GEMStar XT全系配備熱壁,結(jié)合前驅(qū)體瓶加熱,管路加熱,橫向噴頭等設(shè)計(jì),使溫度均勻性高達(dá)99.9%,氣流對(duì)溫度影響減少到0.03% 以下。高溫度穩(wěn)定度的設(shè)計(jì)不僅實(shí)現(xiàn)在8英寸基體上實(shí)現(xiàn)膜厚的不均勻性
產(chǎn)品型號(hào):GEMStar XT   所在地:北京市   更新時(shí)間:2025-03-12
參考價(jià):面議 詢價(jià)留言
AT-200MAnric原子層沉積系統(tǒng)
AT-200MAnric原子層沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)單介紹:占地面積小的桌面系統(tǒng)( 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺)
具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥,用于集成惰性氣體吹掃。
4 英寸圓形卡盤(pán)可定制,適用于較小尺寸或其他形狀(11 毫米高)。
3 種有機(jī)金屬前體和 2 種(最多 3 種)反反應(yīng)物。
整個(gè)加熱管線(從前體到腔室)。
高曝光(用于溝槽和多孔基板)和靜態(tài)處理模式
全鋁(半導(dǎo)體級(jí))腔室 ? 范圍高達(dá) 310°C
產(chǎn)品型號(hào):AT-200M   所在地:北京市   更新時(shí)間:2025-03-11
參考價(jià):面議 詢價(jià)留言
AT-610原子層沉積系統(tǒng)
AT-610原子層沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)單介紹:原子層沉積(Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過(guò)程中,新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的,這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。
產(chǎn)品型號(hào):AT-610   所在地:北京市   更新時(shí)間:2025-03-11
參考價(jià):¥60 詢價(jià)留言
AT-410原子層沉積系統(tǒng)
AT-410原子層沉積系統(tǒng)
簡(jiǎn)單介紹:原子層沉積系統(tǒng)(ALD)是一種基于自限制表面化學(xué)反應(yīng)的優(yōu)良薄膜沉積技術(shù)。通過(guò)交替通入不同前驅(qū)體氣體,在基底表面逐層形成單原子層厚度的薄膜,具有原子級(jí)精度控制和三維共形性覆蓋的特點(diǎn),尤其適用于復(fù)雜結(jié)構(gòu)和高深寬比器件的均勻鍍膜。
產(chǎn)品型號(hào):AT-410   所在地:國(guó)外   更新時(shí)間:2025-03-11
參考價(jià):¥60 詢價(jià)留言
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