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玉崎科學儀器(深圳)有限公司
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日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號NE-5700/NE-7800

品       牌其他品牌

廠商性質代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-11-25 14:24:33瀏覽次數(shù):163次

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價格區(qū)間 面議 應用領域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合
日本ULVAC愛發(fā)科NE-5700/NE-7800半導體干法刻蝕設備
日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備

日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備

日本ULVAC愛發(fā)科半導體干法刻蝕設備



批量生產(chǎn)的干法刻蝕設備NE-5700/NE-7800

適合量產(chǎn)的NE-5700/NE-7800干法刻蝕設備是一款可擴展的刻蝕設備,支持從一個腔室到多個腔室,強調性價比。


特征

  • 除1個腔體外,還可配備磁場ICP(ISM)、NLD等離子體源、灰化腔體、CCP腔體,兼容多種刻蝕工藝。

  • 配備星形電極和各種溫度控制功能,可實現(xiàn)過程的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。

  • 易于維護的結構,停機時間最短,全面的備份系統(tǒng),包括再生清潔、零件供應、維護和培訓服務。

  • 半導體技術研究院提供完善的工藝支持系統(tǒng)。

目的

  • 化合物(LED、LD、高頻器件)和功率器件(IGBT 布線加工、SiC 加工)。

  • 用于金屬布線、層間絕緣膜(樹脂類)、柵電極加工工序。

  • 用于蝕刻鐵電材料和貴金屬。

  • 用于加工磁性材料。

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