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當(dāng)前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>蝕刻設(shè)備>> NE-550EX日本ULVAC愛發(fā)科高密度等離子刻蝕設(shè)備
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號NE-550EX
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-11-25 14:20:55瀏覽次數(shù)：176次
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日本ULVAC愛發(fā)科高密度等離子刻蝕設(shè)備
日本ULVAC愛發(fā)科高密度等離子刻蝕設(shè)備
研究開發(fā)的高密度等離子蝕刻系統(tǒng)NE-550EX是采用磁場ICP（ISM=感應(yīng)超級磁控管）方式的高密度等離子蝕刻系統(tǒng)，為單晶圓型，標配LL室。 ，使其結(jié)構(gòu)緊湊且價格低廉。
與其他ICP方式相比，磁場輔助可在更低的壓力、更低的電子溫度和更高的密度下產(chǎn)生等離子體，并且可以進行從離子蝕刻到自由基蝕刻的廣泛等離子體控制，因此作為開發(fā)工具適用于各種工藝。
配備“星形電極"，防止沉積物粘附在射頻輸入窗口上。該設(shè)備還具有加熱功能，其設(shè)計注重再現(xiàn)性和穩(wěn)定性。
我們實現(xiàn)了作為研發(fā)工具的可靠性，例如高可靠性的運輸機器人、簡單的裝置結(jié)構(gòu)和易于維護。
豐富的可選功能，可增設(shè)暗盒室。
NE-5700和NE-7800可兼容同一個腔體配置的多個腔體，適用于大規(guī)模生產(chǎn)線。
復(fù)合材料（LED、LD、高頻器件、功率器件）。
電極、金屬布線、有機薄膜、陶瓷等加工
用于加工難以蝕刻的材料，如鐵電體、貴金屬和磁性薄膜。
納米壓印、NEMS、MEMS、各種傳感器。
生物芯片、微流控器件、光子晶體等
| 物品 | 規(guī)格 |
| 系統(tǒng)配置 | 研發(fā)/樣機設(shè)備+裝載鎖室 |
| 板尺寸 | ～150毫米 |
| 工作壓力（Pa） | 0.07~6.7 |
| 面內(nèi)/面間均勻性 | 最大±3% |
| 基板溫度控制 | 靜電吸盤 |
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