Epiluvac ER3-C1

晶圓直徑可達(dá) 200 mm （8“）

通過熱壁拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)出色的均勻性

先進(jìn)的動(dòng)態(tài)氣體流量控制，可實(shí)現(xiàn)佳生長速率和摻雜均勻性。

具有多個(gè)加熱區(qū)的出色溫度曲線

不含石英，適用于氯化工藝

在清潔的惰性氣氛中進(jìn)行熱晶圓裝載/卸載可大限度地減少顆粒污染并延長石墨部件的使用壽命

模塊化設(shè)計(jì)，兩個(gè)、三個(gè)或四個(gè)反應(yīng)器組成集群配置。每個(gè)反應(yīng)器都針對特定的生長步驟進(jìn)行了優(yōu)化

在受控環(huán)境中在反應(yīng)器之間進(jìn)行晶圓運(yùn)輸

高達(dá) 1800 °C

適用于中小批量生產(chǎn)和研發(fā)

Epiluvac EPI 1000-C：

熱壁 CVD 具有出色的均勻性

大 150 mm 基板直徑

單晶圓和手動(dòng)裝載

非常適合研發(fā)

Epiluvac ER3-N1：

上述ER3-C1系統(tǒng)的GaN版本

可選的原位監(jiān)測

獲得利的溫度控制，可大限度地減少晶圓彎曲

Epiluvac ER3-C1：

晶圓直徑可達(dá) 200 mm （8“）

通過熱壁拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)出色的均勻性

先進(jìn)的動(dòng)態(tài)氣體流量控制，可實(shí)現(xiàn)佳生長速率和摻雜均勻性。

具有多個(gè)加熱區(qū)的出色溫度曲線

不含石英，適用于氯化工藝

在清潔的惰性氣氛中進(jìn)行熱晶圓裝載/卸載可大限度地減少顆粒污染并延長石墨部件的使用壽命

模塊化設(shè)計(jì)，兩個(gè)、三個(gè)或四個(gè)反應(yīng)器組成集群配置。每個(gè)反應(yīng)器都針對特定的生長步驟進(jìn)行了優(yōu)化

在受控環(huán)境中在反應(yīng)器之間進(jìn)行晶圓運(yùn)輸

高達(dá) 1800 °C

適用于中小批量生產(chǎn)和研發(fā)

Epiluvac EPI 1000-C：

熱壁 CVD 具有出色的均勻性

大 150 mm 基板直徑

單晶圓和手動(dòng)裝載

非常適合研發(fā)

Epiluvac ER3-N1：

上述ER3-C1系統(tǒng)的GaN版本

可選的原位監(jiān)測

獲得利的溫度控制，可大限度地減少晶圓彎曲