1. 產(chǎn)品概述：
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。
材料研究和預(yù)生產(chǎn)環(huán)境的理想選擇
垂直源到基板方向，具有 12 個 MBE 源端口和添加電子束功能的選項
手動或自動晶圓轉(zhuǎn)移選項可配置的低溫板、機械手、百葉窗和原位監(jiān)測設(shè)備
模塊化設(shè)計允許多兩個增長模塊
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具，其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進行配置，包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù)，允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng)，以實現(xiàn)理想的實驗室到晶圓廠遷移。
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