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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司

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高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PVD400

品牌沈陽科儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地沈陽市

更新時間:2024-09-05 14:08:37瀏覽次數(shù):139次

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產(chǎn)品概述:
高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。
設(shè)備用途:
用于納米級單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。

1.產(chǎn)品概述:

本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。

2.設(shè)備用途:

用于納米單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。

3.真空室:

真空室結(jié)構(gòu):方形開門

真空室尺寸:φ400x400x400mm

限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:永磁靶3套,φ2英寸

樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,高800℃

樣品臺:擁有可旋轉(zhuǎn)或者可移動的樣品臺,以便均勻的沉積薄膜。

占地面積(長x寬x高):約1.8米×1.7米×2米

電控描述:全自動采用先進的控制系統(tǒng),方便用戶設(shè)置和調(diào)整工藝參數(shù),如蒸發(fā)溫度、沉積時間等。

工藝:片內(nèi)膜厚均勻性:≤±3%





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