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當(dāng)前位置:深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>2 PVD>> PVD500高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)

高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)PVD500

品牌沈陽(yáng)科儀

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地沈陽(yáng)市

更新時(shí)間:2024-09-05 13:55:32瀏覽次數(shù):164次

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高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。

1.產(chǎn)品概述:

本沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)的軟件控制系統(tǒng)。

2.設(shè)備特點(diǎn):

本設(shè)備是一個(gè)鍍膜平臺(tái),可把磁控靶拆下?lián)Q電子槍成為電子束鍍膜系統(tǒng)、或換蒸發(fā)源作為熱蒸發(fā)系統(tǒng)、或換上離子槍作為離子束鍍膜系統(tǒng)等。

設(shè)備用途:用于納米單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項(xiàng)目。

3.真空室:

真空室結(jié)構(gòu):方形開(kāi)門(mén)

真空室尺寸:φ500x500x500mm

限真空度:≤3.0E-5Pa

沉積源:永磁靶4套,φ2英寸

樣品尺寸,溫度:φ4英寸,1片,高800℃

占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約2米×1.7米×2米

電控描述:全自動(dòng)

工藝:具備計(jì)算機(jī)化的工藝自動(dòng)化功能。

片內(nèi)膜厚均勻性:≤±3%







濺射系統(tǒng)

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