ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWD-55LD RF Match 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高效射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，該型射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻的精準控制。ENI MWD 系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器具有響應(yīng)速度快，匹配精度高的優(yōu)點，廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程工藝中。該型射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻信號的精準控制，對射頻反射功率進行高精度的偵測，并通過控制步進電機的轉(zhuǎn)動來調(diào)節(jié)設(shè)備內(nèi)部阻抗值，從而降低功率反射，實現(xiàn)快速匹配。

ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWD-55LD RF Match 參數(shù)規(guī)格：

設(shè)備品牌：ENI                                                                                                                                

設(shè)備型號：MWD-55LD

AC 電源輸入：1 phase~ /N/PE~ ，100~200V，1A，50/60Hz

RF 射頻輸入：13.56MHz

功率輸入：MAX 5500W

通訊接口：Aanlog I/F，System，Debug，RS-232C I/F

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：22.7kg，50lbs