ADTEC 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 AMV-600-KM RF Match 是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期實(shí)機(jī)驗(yàn)證的射頻匹配器，匹配效率高，速度快，能夠高效地降低反射，減少射頻損耗，提升能源效益，降低客戶的使用成本。ADTEC AMV系列射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程中，反應(yīng)靈敏，響應(yīng)速度快，可以快速偵測(cè)反射功率并迅速調(diào)整設(shè)備內(nèi)部的阻抗值降低功率反射，實(shí)現(xiàn)匹配，從而對(duì)等離子工藝進(jìn)行高性能，高可靠性和精確控制。該款射頻匹配器整體采用了緊湊設(shè)計(jì)，輕便靈活。

ADTEC 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 AMV-600-KM RF Match 規(guī)格參數(shù)

設(shè)備品牌：ADTEC

設(shè)備型號(hào)：AMV-600-KM

AC 電源輸入：~AC100V，50/60Hz，typ.20VA（Max：50VA）

RF 射頻輸入：600W（Max），13.56MHz（50Ω）

通訊接口：Remote，I/F

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱