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MKS ASTRON2L RPS 半導(dǎo)體遠程等離子源是在半導(dǎo)體產(chǎn)線沉積和蝕刻室清潔工藝中的發(fā)揮關(guān)鍵作用的子組件，可以消除工藝副產(chǎn)物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命...

MKS 遠程等離子體源 ASTRON hf-s 15L RPS 是沉積和蝕刻室清潔工藝的關(guān)鍵子組件，消除了工藝副產(chǎn)物從室壁積聚，增加工藝工具的壽命，并減少薄膜污...

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是穩(wěn)定可靠的高性能高頻射頻電源，廣泛運用于Etch、CVD、PVD濺射等...

MKS 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 PLASMART Path Finder 100MHz 5000W RF Match 是一款經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良可靠性的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹...

ENI 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 MWD-55LD RF Match 是經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良性能和可靠性的射頻阻抗網(wǎng)絡(luò)匹配器，廣泛運用于半導(dǎo)體行業(yè)中。

MKS 微波電源 ASTeX AX3060-10 智能微波匹配器是一種*的微波匹配單元，它利用相位幅度檢測硬件和*的預(yù)測調(diào)諧算法來提供快速、可靠和可重復(fù)的匹配。

MKS 遠程等離子體源 Paragon F* 8SLM RPS 是用于清潔應(yīng)用的智能遠程等離子體源，為了清潔CVD和ALD/ALE腔室，Paragon遠程等離子...

MKS 遠程等離子體源 Paragon 8SML RPS是用于清潔應(yīng)用的智能遠程等離子體源，為了清潔CVD和ALD/ALE腔室，Paragon遠程等離子體源有高...

MKS（ENI）高性能射頻電源，ENI 射頻電源 GHW-70 13.56MHz 7000W 提供經(jīng)過現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和良好的可重復(fù)性，以實現(xiàn)高正...

MKS（ENI）高性能射頻電源，射頻電源 ENI GHW-50A 13.56MHz 5000W 提供經(jīng)過現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和良好的可重復(fù)性，以實現(xiàn)高...

ENI GHW-50 高性能射頻電源 13.56MHz 5KW 提供經(jīng)過現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和良好的可重復(fù)性，以實現(xiàn)高正常運行時間和工藝良率。

MKS 射頻電源 ENI GHW-55A 13.56MHz 5500W 高性能射頻電源提供經(jīng)過現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和良好的可重復(fù)性，以實現(xiàn)高正常運行時...

MKS 射頻電源 ENI GHW-85A 13.56MHz 8500W 高性能射頻發(fā)生器可以提供經(jīng)過現(xiàn)場驗證的可靠性、優(yōu)秀的穩(wěn)定性和良好的可重復(fù)性，以實現(xiàn)高正常...

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8407 OZONE Generator 通過無聲放電將純氧轉(zhuǎn)化為臭氧，實現(xiàn)高輸出和高濃度水平。

MKS 臭氧發(fā)生器 ASTeX AX8560 OZONE Generator 是主要設(shè)計用于全集成臭氧輸送子系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一個*集成的臭氧發(fā)生器，具有內(nèi)部臭氧監(jiān)...

MKS RGA 殘余氣體分析儀 MicroVision Plus 利用優(yōu)秀的射頻電子設(shè)計和數(shù)據(jù)采集電子技術(shù)，提供了大多數(shù)應(yīng)用程序所需的性能水平。

MKS RGA 殘余氣體分析儀 HPQ2 允許操作高達0.001托，而不需要差速泵送，由此產(chǎn)生的系統(tǒng)更簡單，安裝要求更低，以更低的成本提供更高的可靠性。

MKS 直流電源 DCG-100A OPTIMA 10KW 是久經(jīng)機臺測驗的具有高可靠性和優(yōu)良性能的直流電源。

MKS 直流電源 DCG-200Z OPTIMA 10KW DC Power Supply 是久經(jīng)機臺測驗的具有高可靠性和優(yōu)良性能的直流電源。

MKS（ENI）射頻電源 ACG-5 13.56MHz 500W 提供一套緊湊、輕量級的射頻產(chǎn)品，具有各種用戶界面和功能，包括自動頻率調(diào)諧、快速瞬態(tài)恢復(fù)和脈沖。