MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W RF Generator是經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出能力的高性能高頻射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。MKS LVF系列射頻電源有優(yōu)秀的成膜能力，廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中。MKS 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設(shè)計(jì)，能夠有效的降低客戶的使用成本。設(shè)備主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

MKS 高頻射頻電源 LVF3560A 60MHz 3500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：LVF3560A

AC 電源輸入：3 phase~ /PE，200~208V，30A，50/60Hz

RF 射頻輸出：60MHz，3500W

通信接口：Analog I/O，RS-232C，Remote Panel

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：水冷流速 2gal/min（7.5L/min），水流溫度 5℃~35℃，MAX水冷壓力 60PSI/414kPa

設(shè)備重量：32kg（70lbs）