MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場驗證的具有可靠性能和穩(wěn)定輸出能力的優(yōu)秀射頻發(fā)生器，在實機驗證中體現(xiàn)出了優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和輸出控制能力。該型射頻電源能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準(zhǔn)控制，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻等工藝中，且具有優(yōu)秀表現(xiàn)。RD5060Z射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，在半導(dǎo)體薄膜工藝中，具有成膜速度快，效率高，質(zhì)量好的優(yōu)點，在一定程度上能夠提升產(chǎn)線效率和成品良率，具有十分廣泛的應(yīng)用。

MKS 射頻電源 53-S30-64 63.87MHz 18KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：MKS                                                                                                      

設(shè)備型號：53-S30-64

AC 電源輸入：3 phase~ ，380/400 VAC ±10%，16A，50/60Hz

RF 射頻輸出：63.87MHz，18KW Pulsed，540Watts，50Ω

通訊接口：Remote，RS-232C

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱