DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，在實際運行過程中表現(xiàn)出了優(yōu)良性能和可靠性。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源具有優(yōu)秀的成膜能力，成膜速度快，因此被廣泛的應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中。該型射頻電源設(shè)備具有穩(wěn)定的射頻輸出和精準控制能力，主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN                                                                                             

設(shè)備型號：NX-RGA-5A                                                                                              

AC 電源輸入：3 phase~ ，200V~，8A，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，500W

通訊接口：DeviceNet，Analog I/F，Pulse

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱+水冷散熱

水冷進水需求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：30kg