DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW RF Generator 是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的輸出穩(wěn)定能力且性能可靠的射頻電源，具有優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力。DAIHEN NX-RGA 系列射頻電源由于其良好的成膜能力，被廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，RGA系列射頻電源成膜速度快，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制，能夠減少能源損耗，提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源主要運(yùn)用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應(yīng)用，堅(jiān)固耐用，為等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

DAIHEN 射頻電源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：DAIHEN

設(shè)備型號(hào)：NX-RGA-10G                                                                                                                  

AC 電源輸入：3 phase~ ，180~242V ，37A，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，1000W

通訊接口：DeviceNet，DI/O I/F I/L，Maintenance，Display

設(shè)備散熱：風(fēng)冷+水冷散熱

水冷進(jìn)水要求：MAX Torque 30N·m

設(shè)備重量：60kg