NIHON KOSHUHA MKN 502-3S2B03-OSC 微波電源 微波振蕩部件 Microwave Oscillator Section  輸出功率從500W ~ 5KW，是具備高穩(wěn)定性，低波紋的微波電源振蕩部件，需配套MKN微波電源使用。主要運(yùn)用于微波等離子CVD、微波ECR等離子等半導(dǎo)體制造進(jìn)程中。    

NIHON KOSHUHA 微波電源 MKN152-3S9-PS 技術(shù)參數(shù)

設(shè)備品牌：NIHON KOSHUHA

設(shè)備型號(hào)：MKN-502-3S2B03-OSC

設(shè)備輸出頻率：2450 ± 30MHz

額定輸出功率：150W ~ 1500W

設(shè)備輸出法蘭：BRJ-2

功率輸出穩(wěn)定度：電源電壓±10%的變動(dòng)，Max輸出的±1%以下

輸出波紋：Max 輸出值的5%pp以下

AC 電源輸入：3phase~ ，200V，50/60Hz，11KVA

散熱方式：風(fēng)冷散熱

尺寸大?。?70 * 270 * 270 mm

設(shè)備重量：25公斤