NIHON KOSHUHA 微波電源 MKN152-3S9-PS Microwave Power Supply 是經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能微波電源。MKN系列微波電源的輸出功率范圍為300W ~ 10KW，響應(yīng)迅速，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)輸出功率的精準(zhǔn)控制，是具備高穩(wěn)定性，低波紋的微波電源。該系列微波電源是面向核心等離子體應(yīng)用的業(yè)界前沿的可重復(fù)電源，主要運(yùn)用于微波等離子CVD、微波ECR等離子等半導(dǎo)體制造進(jìn)程中。                                                                                                                                                                                                          

NIHON KOSHUHA 微波電源 MKN152-3S9-PS 技術(shù)參數(shù)

輸出頻率：2450 ± 30MHz

額定輸出功率：150W ~ 1500W

輸出法蘭：BRJ-2

功率輸出穩(wěn)定度：電源電壓±10%的變動(dòng)，Max輸出的±1%以下

輸出波紋：Max 輸出值的5%pp以下

AC輸入：3phase，220V，3.1KVA

散熱方式：風(fēng)冷散熱

尺寸大?。?80 * 500 * 199 mm

設(shè)備重量：25公斤