200 mm 探針臺,用于收集高精度測量數(shù)據(jù),速度提高 5 倍
新型 Cascade SUMMIT200先進的 200mm 探針系統(tǒng),對于在單個或體積晶圓上收集高精度測量數(shù)據(jù)至關(guān)重要;越快越好。
SUMMIT200探針臺專為研發(fā)、設(shè)備表征/建模或利基生產(chǎn)應(yīng)用而設(shè)計,可在超低噪聲、直流、射頻、毫米波和太赫茲應(yīng)用中進行溫度范圍內(nèi)的精確電氣測量,具有半自動和現(xiàn)在的全自動操作,可盡快獲得準確數(shù)據(jù)。
下一代探頭系統(tǒng)支持 PureLine™ 技術(shù),可實現(xiàn)市場上低的噪聲水平之一。獲得AttoGuard® 和 MicroChamber® 技術(shù)可顯著改善低泄漏和低電容測量。新的先進200毫米快速平臺,盒式處理多達50片晶圓,高吞吐量測試功能,以及-60°C至300°C的寬溫度范圍,為科學(xué)家,研發(fā)和測試工程師或生產(chǎn)操作員提供了快速完成工作所需的一切。
SUMMIT200探針臺支持Contact Intelligence™,這是一種技術(shù),可實現(xiàn)自主半導(dǎo)體測試。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計和先進的圖像處理技術(shù)強強結(jié)合,提供了一個獨立于操作員的解決方案,可在任何時間和溫度下獲得高度可靠的測量數(shù)據(jù)。
該SUMMIT200具有廣泛的應(yīng)用范圍和滿足任何未來需求的升級路徑,提供先進的 200 mm 探針臺平臺,可對現(xiàn)有和未來的設(shè)備和 IC 進行快速、高精度和大批量測量。
*SUMMIT200 平臺還提供不同版本,用于不需要上述增強功能集的測量任務(wù)。