1. 產(chǎn)品概述:
GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計,并具有工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計將所有真空硬件與機載電子設(shè)備相結(jié)合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實驗室空間。由于手動系統(tǒng)集成在一個框架上,因此減少了安裝時間。GENxplor的開放式架構(gòu)設(shè)計還提高了易用性,提供了對積液池的便捷訪問,并且與其他MBE系統(tǒng)相比,更容易進行維護。
直徑達 3 英寸的襯底上的高質(zhì)量外延層
電子束溫度加熱器(>1850°C)
單幀架構(gòu)提高了易用性,提供了便捷的源訪問和增強的可服務(wù)性
高效的一體化設(shè)計將手動系統(tǒng)與機載電子設(shè)備相結(jié)合,與其他 MBE 系統(tǒng)相比,可節(jié)省 40% 的實驗室空間
非常適合對各種材料進行前沿研究,包括砷化鎵、氮化物和氧化物
Molly® 軟件集成了簡單的配方編寫、自動生長控制和始終在線的數(shù)據(jù)記錄
可選的 Nova™ 超高溫基板加熱器,可在 1850° 下提供經(jīng)過驗證的性能
可直接擴展到 GEN20™、GEN200® 和 GEN2000® MBE 系統(tǒng)