IoN系列等離子系統(tǒng)具有多種射頻電源選項(xiàng)，可滿足客戶的特定工藝和產(chǎn)量要求。 我們提供不同腔體和電配置，大腔體可達(dá) 1200 升。

PVA TePla 的 IoN 10Q 是一款桌式全功能射頻等離子機(jī)，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實(shí)驗(yàn)室和量產(chǎn)使用而設(shè)計(jì)，多可處理 25片晶圓，晶圓大尺寸為 150 毫米。

PVA TePla的IoN 100-40Q是一款功能齊全的射頻等離子機(jī)，可用于批量晶圓去膠和清除殘膠，為實(shí)驗(yàn)室和量產(chǎn)使用而設(shè)計(jì)，多可處理50片晶圓，晶圓大尺寸為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 單片晶圓去膠機(jī)是一款功能齊全的先進(jìn)射頻等離子機(jī)，可用于單片晶圓去膠和清除殘膠，為實(shí)驗(yàn)室和量產(chǎn)使用而設(shè)計(jì)，可處理大的晶圓為200毫米。

PVA TePla 的 IoN 200 是一款功能齊全的射頻等離子機(jī) ，可用于表面改性，設(shè)計(jì)用于實(shí)驗(yàn)室和處理大型基板或大批量生產(chǎn)。 該機(jī)臺(tái)還為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積應(yīng)用提供了對應(yīng)的功能。

PVA TePla 的 IoN 40 是一款功能齊全的桌式先進(jìn)射頻等離子機(jī)，可用于表面改性，為實(shí)驗(yàn)室和量產(chǎn)使用而設(shè)計(jì)，適用于處理較小的基板或中小產(chǎn)量。該機(jī)臺(tái)還為等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積應(yīng)用提供了對應(yīng)的功能。