1. 產(chǎn)品概述
SpectraRay/4 是 SENTECH 有的光譜橢圓偏振儀軟件,包括橢圓、反射和透射數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)采集、建模、擬合和擴(kuò)展報(bào)告。它支持可變角度、多實(shí)驗(yàn)和組合光度測(cè)量。 包括一個(gè)基于 SENTECH 厚度測(cè)量和文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的龐大而全面的材料數(shù)據(jù)庫(kù)。大量的色散模型允許對(duì)幾乎任何類型的材料進(jìn)行建模。
2. 映射
我們的光譜橢圓偏振儀的映射選項(xiàng)具有預(yù)定義或用戶定義的模式、廣泛的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)以及以 2D 顏色、灰色、等高線、+/- 與平均值的偏差和 3D 繪圖等圖形顯示數(shù)據(jù)。
3. 模擬
測(cè)量參數(shù)可以模擬為波長(zhǎng)、光子能量、倒數(shù)厘米、入射角、時(shí)間、溫度、薄膜厚度測(cè)量和其他參數(shù)的函數(shù)。
4. 交互模式
設(shè)置測(cè)量參數(shù)并開(kāi)始薄膜厚度測(cè)量
通過(guò)從材料庫(kù)拖放或從現(xiàn)有的色散模型中拖放來(lái)構(gòu)建模型
定義和改變參數(shù),使計(jì)算出的光譜與測(cè)量的光譜擬合
以交互方式改進(jìn)模型,實(shí)現(xiàn)佳品質(zhì)因數(shù)
通過(guò)從預(yù)定義或自定義的模板中進(jìn)行選擇,將結(jié)果報(bào)告為 word 文檔
將所有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、實(shí)驗(yàn)方案和注釋保存在一個(gè)實(shí)驗(yàn)文件中
5. 配方模式
SpectraRay/4 配方模式的優(yōu)點(diǎn)是兩步操作:
選擇和
從庫(kù)中執(zhí)行預(yù)定義的配方。
配方包括厚度測(cè)量參數(shù)、模型、擬合參數(shù)和報(bào)告模板。
6. 靈活性和模塊化
SpectraRay/4 具有單軸和雙軸各向異性材料測(cè)量、薄膜厚度測(cè)量和層測(cè)量功能。該軟件可處理去化、不均勻性、散射(Mueller 矩陣)和背面反射等樣品效應(yīng)。
該軟件包括通用光譜橢圓偏振法軟件包的所有實(shí)用程序,用于數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出(包括 ASCII)、文件管理、光譜的算術(shù)操作、顯示、打印和報(bào)告(Word 文件格式 *.doc)。腳本編寫(xiě)功能使其非常靈活,可以自動(dòng)執(zhí)行常規(guī)測(cè)量,為要求苛刻的應(yīng)用進(jìn)行定制,并控制第三方硬件,如傳感器、加熱臺(tái)、樣品池或低溫恒溫器。