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AE MERCURY 3013-AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡匹配器
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貨物所在地：江蘇揚州市

更新時間：2024-08-07 08:34:14

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AE 水星Mercury 3013 射頻網(wǎng)絡匹配器, 主要用于傳輸線上，以此來達到幾乎全部高頻微波信號均能傳遞至負載點的目的，減少信號反射回來源點，提升能源效益。

AE（Advanced Energy）Mercury 3013 水星系列射頻網(wǎng)絡匹配器, 主要用于傳輸線上，以此來達到幾乎全部高頻微波信號均能傳遞至負載點的目的，減少信號反射回來源點，提升能源效益。


在射頻濺射系統(tǒng)中，靶材于殼體近似一個電容器，對電源來說是電容性負載，通過調(diào)節(jié)射頻網(wǎng)絡匹配器中的可調(diào)節(jié)電容，可以使得這個容性負載的阻抗達到事宜狀態(tài)，進而使射頻電源的輸出功率得到高效的利用。


特點：

  1. 使等離子體能夠高效的吸收射頻電源提供的能量

  2. 可以提高靶的濺射速率

  3. 能夠加快成膜的速度


技術(shù)參數(shù)：

LF Input ：＜500KHz / 600V MAX

AC Input : 115 VAC , 50/60Hz , 1A / T1A 250 VAC

Net Dimensions and Weight : 400*240*400mm / 11.8Kg

頻率 ：13.56MHz

輸出功率 ：3000W




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