AE 射頻電源 RFG 1250 13.56MHz 1250W RF Generator 是經(jīng)過長期現(xiàn)場驗(yàn)證的具有穩(wěn)定輸出性能的高可靠性射頻電源，該型射頻電源在實(shí)際運(yùn)行操作過程中體現(xiàn)出了優(yōu)良的工藝穩(wěn)定性和控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)隊射頻輸出的精準(zhǔn)控制。射頻電源整體上采取了緊湊型的設(shè)計，可以減少在機(jī)臺中的空間占用，降低客戶的使用成本。 AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)良可靠的成膜能力，因而被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制程的薄膜工藝中，RFG系列射頻電源的成膜速度快，能夠提高產(chǎn)線中的成膜效率。

AE 射頻電源 RFG 1250 13.56MHz 1250W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：RFG 1250                                                                                                                                                     

AC 電源輸入：3 phase~/PE，208V~ ，10A，50/60Hz，2.0KW

RF 射頻輸出：13.56MHz，1250W                                                                                                     

通訊接口：Control，CEX In/Out

設(shè)備散熱：水冷散熱