MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz RF Generator 是一款優(yōu)秀的射頻電源，輸出穩(wěn)定性能可靠，能夠?yàn)閮?yōu)良的薄膜加工設(shè)備提供可靠的固態(tài)電源，是制造現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備所需的集成電路或芯片的半導(dǎo)體制程中的重要部件。MKS EDGE系列射頻電源具有優(yōu)良的成膜能力，能夠快速成膜，從而提高產(chǎn)線效率。EDGE系列射頻電源嚴(yán)格的制造環(huán)節(jié)把控，使得該型射頻電源在實(shí)際工作過程中能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)射頻輸出的精準(zhǔn)控制。

MKS 高頻射頻電源 EDGE 210R40A-G02 400KHz 參數(shù)規(guī)格

品牌：MKS

設(shè)備型號(hào)：EDGE 400KHz

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，90A，50/60Hz

RF 射頻輸出：400KHz

通訊接口：Interlock，ETHERNET，RS-232C，CEX，GIGABIT

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流壓力 80PSI

設(shè)備重量：47.6kg（105lbs）