COMET 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 101187 RF Match 能夠?qū)崿F(xiàn)對等離子工藝經(jīng)行高性能，高可靠性和精確的控制。采用高度優(yōu)化的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，具有較小的間隙，可實(shí)現(xiàn)優(yōu)良工序間的可重復(fù)性工作。專為半導(dǎo)體和關(guān)鍵的薄膜應(yīng)用設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體晶圓制程200mm/300mm行業(yè)中，F(xiàn)PD行業(yè)的LCD，OLED，封裝產(chǎn)業(yè)，以及微機(jī)電產(chǎn)業(yè)中3D集成TSV工藝中。

COMET 射頻網(wǎng)絡(luò)匹配器 101187 RF Match

DC 電源輸入：DC Input 24VDC，3.5Amax

RF 射頻輸入：3000 Watt CW，13.56MHz

RF 射頻輸出：5000 Vrms，25Arms

通訊接口：RS-232C，Analog，USB

設(shè)備散熱：風(fēng)冷散熱

設(shè)備重量：12.0lb，5.4kg

COMET 101187 特點(diǎn)

1.在半導(dǎo)體和薄膜應(yīng)用中性能可靠，效果理想

2.與COMET射頻電源兼容的全用戶接口

3.與COMET射頻電源兼容的脈沖

4.小巧的設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)廣泛調(diào)頻