MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W RF Generator 射頻發(fā)生器 是一款堅(jiān)固耐用的射頻電源，用于等離子蝕刻，CVD和濺射應(yīng)用，具體精確的電源控制和數(shù)字接口，為當(dāng)今苛刻的等離子工藝提供了優(yōu)秀的可靠性。

MKS GEW-3540 射頻電源發(fā)出40.68MHz的射頻，以3000W的功率到50Ω負(fù)載。基于DSP的控制模塊，自動(dòng)測(cè)量正向射頻功率和反射射頻功率，在0 - 3000瓦的動(dòng)態(tài)功率范圍內(nèi)，保持恒定的功率輸出在設(shè)定值的±2%內(nèi)。低諧波失真和雜散性能補(bǔ)充了該機(jī)組的射頻功率輸出控制和無條件的射頻穩(wěn)定性。

MKS 高頻射頻電源 GEW-3540 40.68MHz 3000W 技術(shù)參數(shù)

AC輸入：3 phase~，200 ~ 208V，30A，50 ~ 60Hz

RF輸出：3000W，40.68Mhz，50Ω

電機(jī)扭力：14.2 ~ 16.6 LB-FT.  ， 19.3 ~ 22.5 N-m

散熱方式：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：7.5L/Min（2Gal/Min）

水冷水溫：+5℃ ~ +35℃

水冷水壓：60 PSI / 414 kPa（Max.）

通信接口：RS-232 Debug / Analog Interface / Front Panel

設(shè)備重量：32 KG（70 lbs）