AE 射頻電源 AE PDX-5000 330-460HKz 5000W RF Generator是經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)長(zhǎng)期驗(yàn)證具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源。AE PDX Series 采用中頻電源設(shè)計(jì)，是一款性能成熟強(qiáng)大，具有良好可靠性的中頻電源，可提升過(guò)程靈活性并優(yōu)化控制。該系列電源設(shè)備可選功率范圍為1250W~8000W，其中PDX低功率（LP）系列分為1250W和1400W等版本，PDX大功率（HP）系列則分為5000W和8000W等版本。AE PDX Series 射頻電源工作頻率范圍寬廣，且有遠(yuǎn)程操作功能，可在諸多應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)控制優(yōu)化。

AE 射頻電源 AE PDX-5000 330-460HKz 5000W 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號(hào)：PDX-5000

AC 電源輸入：3 phase~，200~208V，18A，50/60Hz

RF 射頻輸出：330~460KHz，max~735V，5000W

通訊接口：USER，HOST

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進(jìn)水需求：MAX進(jìn)水壓力 6.9bar/690KPa

工作環(huán)境溫度：MAX 40℃

AE PDX-5000 優(yōu)點(diǎn)

1.提高工藝靈活性

2.提高產(chǎn)量

3.優(yōu)化工藝控制

4.確保高度可重復(fù)性

5.易于集成

AE PDX-5000 特點(diǎn)

1.正弦射頻輸出，實(shí)現(xiàn)低諧波失真

2.低EMI（電磁干擾）/RFI（射頻干擾）

3.精密調(diào)節(jié)的輸出功率

4.寬廣的頻率范圍，用于優(yōu)化工藝控制