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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子,綜合 |
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KLA-Tencor SFS6420 顆粒檢測儀
名稱：KSLA-Tencor SFS6420
制造商：KLA-Tencor
尺寸：8英寸
粒子檢測與計數(shù)
用于檢測粗糙表面如多晶硅和鎢的亞微米粒子
提供比0.10 μm更優(yōu)敏感性的精細度
表面分析工具
設計用于滿足廣泛應用的需求
利用最新光學技術，易于在粗糙表面上檢測亞微米粒子的能力
高速自動化測試
能實時分析現(xiàn)場條件，適用于在線和離線應用
每小時可運行500個晶圓的自動化測試能力
多傳感器技術
提供創(chuàng)新的特性，如多傳感器技術
實時信息提供
通過統(tǒng)計分析和趨勢分析為用戶提供與產(chǎn)品質(zhì)量相關的實時信息
晶圓檢測系統(tǒng)
用于監(jiān)控裸硅晶圓及其表面粒子和缺陷
PCB ASSY BELOW WFR DET FOR SFS6420
與KLA-Tencor的其他設備兼容，用于PCB組裝板下的WFR檢測
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化工儀器網(wǎng)