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徠卡體視顯微鏡中透鏡的像差

來源:北京中儀光科科技發(fā)展有限公司   2013年09月09日 10:23  

徠卡體視顯微鏡中透鏡的像差

前面我們討論的是理想成像的電子光學。在一些待定的條件下,物與像之間有點一點對應和幾何相似的關(guān)系。然而實際情況與理想的像有偏離,這就是傷差。我們可以根據(jù)它們不同的產(chǎn)生原因,用像點徑向位置的偏離來作定量描述。

1.幾何修差

當電子軌跡不滿足倍鈾條件時所形成的像差稱為幾何像差。已知倍軸條件歸結(jié)為兩點,即(一)軌跡的徑向離軸位置(r)很??;(二)軌跡相對于軸的斜率或電子束對軸的傾角也很小。幾何像差來自這些量并非無限小。研究指出,影響zui重要的是三級倍差,即實際像點的偏離正比于這些量的三級項者。它們是球差(正比于小)、當形差(正比于M’)、場曲和像散(正比于rz“)和畸變(正比于r3)。電鏡中我們只關(guān)注*種和第四種幾何像差。

2.球差

經(jīng)軸上物點發(fā)出的電子束斜率較小者,可在理想傷平面中會聚成一個點。如果透鏡光鬧所決定的孔徑角。A1、A2一分別為像方或物方的電子柬有效孔徑角(或半張角)。因為孔徑角為噸的實心錐形電子束中包含有從o”蝎不同孔徑角的各電子束,它會聚在不同位置處,因此在理想像點與zui近透鏡的像點之間的某處.必存在一zui小模糊圓。

式中各符號納意義同式。電子光學中的球差是不可消除的。球差系數(shù)與透鏡極靴的形狀,焦炬等有關(guān),故在儀器的設計中應盡量設法減小c的值。此外在使用中還可用物鏡光鬧扎的大小來調(diào)節(jié)束孔徑角軋、從而減小球差的模糊斑。

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