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理音液體顆粒計(jì)數(shù)器的原理及應(yīng)用
特點(diǎn): 最小檢測(cè)粒徑0.2m,流量每分鐘10毫升；粒徑范圍 (5通道)0.2m,0.3m,0.5m,1m,2m；集成的泄漏傳感器和報(bào)警輸出；藍(lán)寶石傳感器用于KS-42BF。
采用的光散射法原理，可滿(mǎn)足電子化學(xué)品，高純化學(xué)試劑，配方化學(xué)品等藥液中20nm-150um的粒徑測(cè)量需求。
原理：光與顆粒發(fā)生作用主要分為三類(lèi)，幾何光學(xué)、米氏散 射和瑞利散射。當(dāng)顆粒粒徑遠(yuǎn)大于光波長(zhǎng)時(shí)，以幾何光學(xué) 為主；當(dāng)粒徑與波長(zhǎng)相近時(shí)，以米氏散射為主；當(dāng)粒徑遠(yuǎn) 小于波長(zhǎng)時(shí)，發(fā)生的是瑞利散射。液體顆粒計(jì)數(shù)器根據(jù)光 與顆粒作用的原理設(shè)計(jì)傳感器結(jié)構(gòu)，將計(jì)數(shù)器分為光阻法 和光散射法兩類(lèi)。
應(yīng)用：可檢測(cè)從純水到氫氟酸各種各樣的液體。 液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專(zhuān)用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機(jī)溶劑和氫氟酸。 另外，也可檢測(cè)化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液，測(cè)試方法包括在線和離線測(cè)試。
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