各種外部因素會影響質量流量控制器的測量精度和控制穩(wěn)定性。壓力和溫度控制中常見的挑戰(zhàn)是什么?如何解決呢?
實時壓力和溫度補償是解決方法之一。工藝過程的效率和產量需要穩(wěn)定的氣體流量。氣體流量可通過熱式質量流量控制器進行測量和控制。
溫度和壓力補償?shù)奶魬?zhàn)
外部因素包括:
l 溫度波動
l 壓力波動
波動可能由于氣瓶中的壓力降低或多個流量控制器之間的串擾而發(fā)生。Bronkhorst如何解決此類問題?有什么解決方案嗎?
質量流量控制器串擾
什么是串擾?串擾通常出現(xiàn)于多個質量流量控制器緊挨放置在同一管道中,或安裝在同一導軌或框架上的情況。氣體調節(jié)器的管路壓力受流量控制器的流量需求影響。當流量儀表改變其設定值,管路壓力會受影響。由于壓力變化,傳統(tǒng)流量控制器的流量測量部分受到影響,表明流量測量不正確,不能顯示通過MFC的實際流量。
流量控制器的標稱流量越小,對較大、并聯(lián)安裝的MFC的設定值變化影響越大。
靜態(tài)壓力補償和動態(tài)壓力補償有什么區(qū)別?
靜態(tài)壓力補償是對緩慢壓力變化的補償,例如氣缸壓力的緩慢降低。通過集成壓力變送器到質量流量控制器上,結合轉換算法,可實時計算實際流體物性。熱傳導測量計算中使用了密度、粘度、熱導率和熱容。在壓力和溫度的影響下,此類物性會發(fā)生變化。因而可測量和處理實際溫度和壓力,實現(xiàn)準確的流量測量和穩(wěn)定的流量控制。
動態(tài)壓力補償是對快速壓力變化的補償。當同一供應管線上的較大流量質量流量控制器更改設定值時,就可能發(fā)生這種情況,該不良影響也稱為“串擾”。當壓力傳感器識別到這些快速的壓力變化時,將相應地調整閥門控制,以保持流量穩(wěn)定。
通過換算實現(xiàn)穩(wěn)定的流量控制
轉換算法可實現(xiàn)預存流體和100種機載氣體中一種的換算(多流體多量程功能)。
實際測得的溫度和壓力用于轉換模型,補償過程條件的變化,帶來更可靠和準確的轉換和穩(wěn)定控制。
簡單裝置包含質量流量控制器“壓力不敏感型”
質量流量控制器 | 壓力不敏感型
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優(yōu)勢 | 使用實時壓力和溫度補償
l 首先,改進準確的流量測量和控制,可帶來優(yōu)化和更恒定的過程條件,從而提高過程產量。
l 其次,易于安裝,因為無需訂購精確滿足工藝條件的儀表。
l 第三,由于管路壓力對儀表精度和控制穩(wěn)定性的影響降低,對元件精度需求降低甚至可減少管線中的元件配置,從而降低成本。
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