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原子力顯微鏡是一種可用來(lái)研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結(jié)構(gòu)的分析儀器，它通過(guò)檢測(cè)待測(cè)樣品表面和一個(gè)微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來(lái)研究物質(zhì)的表面結(jié)構(gòu)及性質(zhì)。主要應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物等領(lǐng)域的表面形貌研究。
原子力顯微鏡的原理：
將一個(gè)對(duì)微弱力極敏感的微懸臂一端固定，另一端有一微小的針尖，針尖與樣品表面輕輕接觸，由于針尖尖*原子與樣品表面原子間存在極微弱的排斥力，通過(guò)在掃描時(shí)控制這種力的恒定，帶有針尖的微懸臂將對(duì)應(yīng)于針尖與樣品表面原子間作用力的等位面而在垂直于樣品的表面方向起伏運(yùn)動(dòng)。利用光學(xué)檢測(cè)法或隧道電流檢測(cè)法，可測(cè)得微懸臂對(duì)應(yīng)于掃描各點(diǎn)的位置變化，從而可以獲得樣品表面形貌的信息。
原子力顯微鏡擁有原子級(jí)的分辨水平，是用來(lái)分析材料表面結(jié)構(gòu)的儀器，根據(jù)需求，會(huì)配備有一些測(cè)相關(guān)參數(shù)的可選功能模塊，甚至圖形化刻蝕功能。對(duì)需要研究表面結(jié)構(gòu)和分子結(jié)構(gòu)等相關(guān)科學(xué)，都是常用的儀器。
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