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霍爾效應(yīng)測試儀，是用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必*的工具?；魻栃?yīng)測試儀主要用于測量電子材料之重要特性參數(shù)，如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等，薄膜或固體材料均可。
儀器系統(tǒng)構(gòu)成：電磁鐵、高精度電源、高斯計、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾探頭、電纜、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。
技術(shù)參數(shù)：
* 電磁鐵磁場：間距 10mm情況下10700 高斯，間距20mm 情況下7000 高斯
*樣品電流：50nA～50mA（*小可調(diào)節(jié)電流為 0.1nA）
*測量電壓：0.1uV～30V
* 提供各類測試標(biāo)準(zhǔn)材料，各級別霍爾器件（靈敏度與精度不同）
*分辨率：低至1GS
*磁場范圍：0-±1T
*配合高斯計或數(shù)采板可與計算機通訊
* I-V 曲線及 I-R 曲線測量等 ▲ 電阻率范圍：5*10-5～5*102Ω.cm
*電阻范圍：10mOhms～ 6MOhms
*載流子濃度：5*1012～5*1020cm-3
*霍爾系數(shù)：±1*10-2～±1*106cm3/C
*遷移率：0.1～108cm2/volt*sec
*測試全自動化，一鍵處理
*專業(yè)的歐姆接觸組合套件
可測試材料:
半導(dǎo)體材料：SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和鐵氧體材料，低阻抗材料：石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR 材料，高阻抗材料：半絕緣的 GaAs, GaN, CdTe 等
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