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布魯克bruker輪廓儀利用*的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺，將測量時(shí)間加快40%，同時(shí)保持行業(yè)的性能。Vision64是布魯克的64位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載3D形貌文件，并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫分析。
單拱門結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使布魯克bruker輪廓儀更堅(jiān)固，從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT升級的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測量<10nm臺階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。
布魯克的Vision64軟件通過提供直觀、簡化的用戶可視化界面，加入到DektakXT的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。智能架構(gòu)和可自定義自動(dòng)化功能相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)快速、全面的數(shù)據(jù)收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個(gè)掃描結(jié)果進(jìn)行分析，還是應(yīng)用自定義篩選器設(shè)置和計(jì)算，DektakXT的數(shù)據(jù)分析器都能顯示當(dāng)前分析結(jié)果，同時(shí)顯示其他可能的分析工具。
測量部分包括檢測器、驅(qū)動(dòng)部、測量臺立柱、測量臺基座、除振臺、架臺等。
⑴測量臺基架：用來安裝需要測量的工件。
⑵測量臺柱桿：使探針上下移動(dòng)。
⑶柱桿手動(dòng)旋鈕：手動(dòng)使探針上下移動(dòng)。
⑷測量面板：用于操作測量部分。
⑸驅(qū)動(dòng)部分：將探針沿著測量方向驅(qū)動(dòng)的裝置。
⑹驅(qū)動(dòng)方向指示燈：驅(qū)動(dòng)方向側(cè)指示燈亮燈。
⑺驅(qū)動(dòng)部分手動(dòng)旋鈕：用手動(dòng)方法進(jìn)行傳感器的左右移動(dòng)。
⑻驅(qū)動(dòng)部分手動(dòng)旋鈕切換開關(guān)：按下此開關(guān)，便可切換驅(qū)動(dòng)部分的手動(dòng)旋鈕的有效、無效。
⑼檢測器：用來獲取Z軸形狀數(shù)據(jù)。
⑽探針桿：用來安裝探針。
⑾探針：用來探測工件表面。
⑿測量力調(diào)整配重：為了調(diào)整測量力大小的配重。
⒀測量力微調(diào)緊固螺釘：用于調(diào)整測量力調(diào)整平衡塊的平衡螺釘。
操作使用步驟：
①將測量力調(diào)整配重的對刻度面與本體針桿的刻度中央位置對齊。
②使平衡塊向左右方向移動(dòng)，將觸針懸臂調(diào)整至平衡（向前移動(dòng)4小格），在此狀態(tài)下測量力為零，此時(shí)觀察Z值接近于零即可，一般不可能達(dá)到絕對零。
③向下方向測量時(shí)，請將測量力調(diào)整配重向左移動(dòng)一個(gè)刻度，測量力將變成10毫牛。
④向上方向測量時(shí)，請將測量力調(diào)整配重向右移動(dòng)一個(gè)刻度，測量力將變成10毫牛。
注：1.通常的測量以10毫牛的測量力進(jìn)行。
2.標(biāo)準(zhǔn)針桿和長度不同的針桿，其測量力與刻度都不同
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