半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室的凈化方案
隨著各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)、產(chǎn)品性能的不斷研究開發(fā)、升級(jí)和各種使用要求,工業(yè)裝修對(duì)空氣潔凈度及污染物的控制要求不斷變化、提高,尤其是5G熱潮襲來、半導(dǎo)體集成電路的高速發(fā)展是潔凈度等級(jí)的擴(kuò)大和控制微粒粒徑日益嚴(yán)格的重要標(biāo)志。
千級(jí)凈化工程的應(yīng)用在機(jī)械電子等行業(yè)的裝修設(shè)計(jì)中較為廣泛使用。千級(jí)潔凈室指的是微塵數(shù)量被控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),同時(shí)為了防止?jié)崈艨臻g受外界污染,在室內(nèi)壓差上也有所要求,通常要求內(nèi)部壓力(靜壓)>外部壓力(靜壓);潔凈度要求高的空間壓力>潔凈度要求低的空間壓力;潔凈室門的朝向應(yīng)開向潔凈度級(jí)別高的房間。
千級(jí)潔凈室要獲得良好的潔凈效果,不僅要著重采取合理的空調(diào)凈化措施,而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應(yīng)的措施:不但要有合理的設(shè)計(jì),而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝,以及正確的使用潔凈室和科學(xué)的維護(hù)管理。
實(shí)驗(yàn)室凈化空調(diào)方案
方案一:傳統(tǒng)的凈化空調(diào)設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如初效過濾段、混合段、表冷段、中效過濾段、二次回風(fēng)段(或中間段)加濕段、加熱段、風(fēng)機(jī)段等。其中冷源主要由冷水機(jī)組提供。
方案二:比較簡單的潔凈空調(diào)設(shè)計(jì)方案。不僅可以大大地縮小機(jī)房的面積,還可以讓水冷柜機(jī)根據(jù)具體的情況布置在較小的凈化車間內(nèi)或機(jī)房內(nèi),同時(shí)還可以將增壓風(fēng)柜布置于機(jī)房內(nèi)或吊在機(jī)房內(nèi)或在夾層內(nèi)。
方案三:主要用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間,是最簡易的空調(diào)方案??芍苯訉⒎煮w空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé),不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí),必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。