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低溫等離子滅菌器主要由電源、箱體、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、微處理器、氣路系統(tǒng)等構(gòu)成。
低溫等離子滅菌器在低溫（60℃以下）和真空狀態(tài)下，通過(guò)高頻電場(chǎng)作用，使滅菌容器艙內(nèi)形成均勻的等離子場(chǎng)，等離子體在形成過(guò)程中產(chǎn)生的大量紫外線，可直接破壞微生物的基因物質(zhì)，紫外線固有的光解作用打破了微生物分子的化學(xué)鍵，再生成揮發(fā)性的化合物。通過(guò)等離子體的蝕刻作用，等離子中活性物質(zhì)與微生物體內(nèi)的蛋氫質(zhì)和核酸發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能。然后注入過(guò)氧化氫為滅菌劑，在滅菌艙內(nèi)霧化彌漫。過(guò)氧化氫在此作用中將會(huì)有離子化分解反應(yīng)，并作用于微生物之細(xì)胞，破壞其生命，進(jìn)一步對(duì)微生物實(shí)施殺滅。
滅菌程序：
1、抽真空：滅菌室內(nèi)壓力內(nèi)由正壓至負(fù)壓；
2、注射：注入定量的過(guò)氧化氫溶液；
3、擴(kuò)散：讓低溫等離子滅菌器中的過(guò)氧化氫充分汽化，均勻擴(kuò)散到滅菌室內(nèi)；
4、等離子態(tài)：?jiǎn)?dòng)滅菌室內(nèi)電磁場(chǎng)，使汽化的過(guò)氧化氫形成等離子態(tài)。
5、通風(fēng):過(guò)濾空氣進(jìn)入，消除室內(nèi)負(fù)壓。
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