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API激光干涉儀介紹
API激光干涉儀技術參數(shù)：
5D/6D標準型：
1. API激光干涉儀線性：0.5ppm
2. API激光干涉儀測量范圍：40米（1D可選80米）
3. API激光干涉儀偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
4. XD LASER API激光干涉儀大范圍：800角秒
5. 滾動角精度：1.0角秒
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
7. 大范圍：500um
8. 垂直度精度：1角秒
9. 溫度：0.2攝氏度
10.濕度：5%
11.壓力：1mmHg
API激光干涉儀5D/6D精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：25米
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值
4. 大范圍：400角秒
5. 滾動角精度：0.5角秒
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值
7. 大范圍：300um
8. 垂直度精度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
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