在我們工作和生活的空間周圍,處處都充斥著各種各樣的電磁波。有中低頻的電磁波,還有高頻和超高頻無線電波(其它如光波等電磁波這里就不討論了)。
自從人類發(fā)現(xiàn)了電磁應用以來,電磁能這種不能直接觀察到的物理現(xiàn)象正在日益深入我們生活的方方面面。電磁力給我們帶來許多便利,大大改善人們的工作和生活環(huán)境,但是在造福人類的同時也帶來許多麻煩和困擾。
許多場合下,這些電磁波會產(chǎn)生相當?shù)奈:Α?,對于裝有心臟起搏器的人來說,強電磁干擾很可能會奪去他們的生命。同樣,對于精密儀器和設備,電磁干擾也會使它們不能正常工作。
對于電子顯微鏡和電子束曝光這一類利用電子束在空間(往往是真空度很高的一個密閉的小區(qū)域)飛行及其衍生效應來工作設備來說,低頻(0. 1 到 350 赫茲)電磁干擾往往是不可忽視的。然而人們發(fā)現(xiàn),相對于高頻電磁干擾,低頻電磁干擾是相當難以屏蔽或消除的。
針對各種高頻電磁干擾,采用不同材料制作的屏蔽就可以有效解決問題。對于低頻電磁干擾,除了制作低頻電磁屏蔽外,還可以使用主動消磁器。
比如以這款UNICORN α200系列低頻消磁系統(tǒng)(EMI Canceling System,又稱消磁器),為例,是優(yōu)尼康科技有限公司在 G3000系列基礎上研發(fā)的新一代產(chǎn)品, 采用高精度純直流測量/反饋 /控制電路, 適用于改善 300Hz 以下的低頻電磁干擾環(huán)境。
特別適用于各種電子顯微鏡、光刻機的改善環(huán)境磁場,消除低頻電磁干擾。
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