1、總論
光柵尺,也稱為光柵尺位移傳感器(光柵尺傳感器),定義是利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置。光柵尺經(jīng)常應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床的閉環(huán)伺服系統(tǒng)中,可用作直線位移或者角位移的檢測。其測量輸出的信號為數(shù)字脈沖,具有檢測范圍大,檢測精度高,響應(yīng)速度快的特點。例如,在數(shù)控機(jī)床中常用于對刀具和工件的坐標(biāo)進(jìn)行檢測,來觀察和跟蹤走刀誤差,以起到一個補(bǔ)償?shù)毒叩倪\(yùn)動誤差的作用。光柵尺按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
學(xué)術(shù)用語:光柵尺位移傳感器 常用名:光柵尺 英文名:Linear Scale 原理:莫爾條紋
2、工作原理
1874年,英國物理學(xué)家瑞利首先揭示出了莫爾條紋圖案的科學(xué)和工程價值,指出了借觀察莫爾條紋的移動來測量光柵相對位移的可能性,為在物理光柵的基礎(chǔ)上發(fā)展出計量光柵的分支奠定了理論基礎(chǔ)。
莫爾條紋是光柵位移精密測量的基礎(chǔ),在實際應(yīng)用中由兩個空間頻率相近的周期性光柵圖形疊加而形成的光學(xué)條紋就是莫爾條紋,可以由遮光效應(yīng)、衍射效應(yīng)和干涉效應(yīng)等多種原理產(chǎn)生。莫爾條紋的科學(xué)含義是指兩個周期性結(jié)構(gòu)圖案重疊時所產(chǎn)生的差頻或拍頻圖案,例如兩個周期相同的光柵以一個小角度相互傾斜重疊后所產(chǎn)生的莫爾條紋,如圖所示。
現(xiàn)代光柵是用精密的刻畫機(jī)在玻璃或金屬片上刻劃而成的,光柵相鄰刻劃之間的距離稱為光柵柵距,亦稱光柵節(jié)距或光柵常數(shù),光柵柵距是位移測量的基準(zhǔn)。
莫爾條紋應(yīng)用廣泛的領(lǐng)域是光柵位移測量,根據(jù)莫爾條紋原理可以實現(xiàn)直線位移和角位移的靜態(tài)、動態(tài)測量,基于莫爾條紋數(shù)量與位移的關(guān)系實現(xiàn)精密位移測量,能夠滿足接觸、非接觸、小量程、大量程、一維、多維等各種需求的測量與控制反饋,廣泛應(yīng)用在程控、數(shù)控機(jī)床和三坐標(biāo)測量機(jī)、精密測量與定位、超精密加工、微電子IC制造、地震預(yù)測、質(zhì)量檢測、納米材料、機(jī)器人、MEMS、振動檢測等眾多領(lǐng)域。
3、結(jié)構(gòu)
光柵尺是由主光柵和副光柵兩部分組成。主光柵一般固定在機(jī)床固定部件上,副光柵(指示光柵)固定在讀數(shù)頭上,裝在機(jī)床活動部件上。下圖所示的就是光柵尺的結(jié)構(gòu)。
光柵尺的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點和使用場合分為直接接收式讀數(shù)頭。
4、光柵尺的用途
在現(xiàn)在中國加工業(yè)、制造業(yè)越來越成熟,對加工的精度越來越高的時候,在各種機(jī)床上,例如:銑床、磨床、車床、線切割、電火花等機(jī)床上都可以安裝光柵尺,其工作環(huán)境要求相對來說不是很苛刻,對操作者的使用來說也十分簡單。
5、光柵尺的分類
光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵和反射光柵。
透射光柵指的光源與接收裝置分別放置在光柵尺的兩側(cè),通過接收光柵尺透過來的衍射光變化來反應(yīng)位置變化。比較通用的是玻璃光柵。反射光柵指的是光源與接收裝置安裝在光柵尺的同一側(cè),通過接收光柵尺反射回來的衍射光變化來反應(yīng)位置變化。比較通用的有鋼帶光柵和玻璃光柵。
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