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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
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日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PRC-003A PRC-006A

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-11-26 17:14:17瀏覽次數(shù):242次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 有油泵
價格區(qū)間 面議 儀器種類 真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科PRC-003A PRC-006A 羅茨泵密閉式電機(jī)
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科羅茨泵密閉式電機(jī)


PRC系列是機(jī)械增壓泵,主要設(shè)計用于對清潔度要求特別高的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。
采用封閉式電機(jī),軸封不會漏油。也可選擇大氣壓驅(qū)動型。

特征

  • 由于無油
    殼體腔內(nèi)沒有潤滑油,因此即使面對水蒸氣、溶劑等蒸汽也能發(fā)揮穩(wěn)定的性能。

  • 采用屏蔽電機(jī)
    通過采用屏蔽電機(jī),我們能夠消除空氣/真空機(jī)械密封??梢栽谇鍧嵉沫h(huán)境中使用,不用擔(dān)心漏油。

  • 表面處理,耐腐蝕性能優(yōu)異
    主要部件均經(jīng)過陽極氧化鋁處理,表面硬度高,耐腐蝕性能優(yōu)異,可防止泵內(nèi)部劃傷和腐蝕。也可以選擇不進(jìn)行表面處理。


  • 由于可以與大氣壓驅(qū)動(變頻選項(xiàng):變頻)低真空泵同時啟動,可有效縮短抽氣時間,因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比,可縮短抽氣時間。

  • 除了標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)和特殊應(yīng)用選項(xiàng)外
    ,我們還提供特殊應(yīng)用型號。

使用示例類型(種類)適用型號表面處理
通過空氣或惰性氣體排氣表面處理
提高抗異物能力
標(biāo)準(zhǔn)PRC-003A、PRC-006A、
PRC-012A、PRC-018A
○ *1R-42
礦物油

當(dāng)您想抑制空氣或惰性氣體排氣水分吸附對極限壓力的影響時
XPRC-003A-X、PRC-006A-X、
PRC-012A-X、PRC-018A-X
?R-42
礦物油

表面處理可防止油因腐蝕性氣體、可燃?xì)怏w和氧化性氣體而劣化,從而提高抗異物強(qiáng)度
FPRC-003A-F、PRC-006A-F、
PRC-012A-F、PRC-018A-F
J25F *2
氟油

*1 如果進(jìn)行表面處理,排氣時間可能會受到吸濕釋放氣體的影響。
*2 組裝檢查將使用氟油進(jìn)行,但不包括在內(nèi)。如有需要,將另行安排。


目的

  • 氣相沉積、濺射、離子鍍

  • 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

  • 分析設(shè)備、檢漏設(shè)備

  • 氣體置換、填充、真空絕熱

  • 熱處理爐、熔煉爐

  • 其他各種真空裝置

規(guī)格

型號*1PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
最大抽速50赫茲280 立方米/小時
(4670 升/分鐘)
500立方米/小時
(8330升/分鐘)
1000立方米/小時
(16700升/分鐘)
1500立方米/小時
(25000升/分鐘)
60赫茲330立方米/小時
(5500升/分鐘)
600立方米/小時
(10000升/分鐘)
1200立方米/小時
(20000升/分鐘)
1800立方米/小時
(30000升/分鐘)
最大吸氣壓力50赫茲1.2 × 103帕1.3× 1031.2 × 103帕
60赫茲9.3 × 102帕1.1 × 103帕9.3 × 102帕
最大允許壓差50赫茲4.0 × 103Pa7.3 × 103帕4.3 × 103帕
60赫茲3.3× 1036.0 × 103Pa3.2 × 103帕
極限壓力*24.0 × 10-1Pa6.7 × 10-1Pa
可驅(qū)動壓力~1.0 x 10 5 Pa(大氣壓驅(qū)動型)
電機(jī)*3格式屏蔽式三相異步電動機(jī)
高效率等級-
輸出0.75千瓦(2極)2.2千瓦(2極)3.7千瓦(2極)5.5千瓦(2極)
電壓
(200V級電機(jī))
50赫茲200V
60赫茲200/220V
使用油*4
ULVOIL R-42
所需油量  0.7升1.5升1.9升
冷卻方式  水冷
冷卻水一次壓力0.3兆帕
入口/出口壓差0.01MPa以上
冷卻水量2升/分鐘3升/分鐘
冷卻水溫度*55~30℃
進(jìn)氣直徑 JIS-B-2290相當(dāng)于VG80相當(dāng)于VG100相當(dāng)于VG150
排氣直徑 JIS-B-2290相當(dāng)于VF80相當(dāng)于VF100
外形尺寸W×D×H *6296×575×260毫米356×619×320毫米406×759×340毫米406×989×340毫米
大量的51公斤86公斤118公斤150公斤
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵VD60CVD90C
VS2401
VS2401
標(biāo)準(zhǔn)配件1 本使用說明書、1 單位油

注)本規(guī)格表采用SI單位制。非 SI 單位的換算如下。
  4.0×10 -1 帕 = 3.0× 10 -3

*1 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品經(jīng)過表面處理(陽極氧化涂層)。 您也可以選擇不進(jìn)行表面處理。
*2 用皮拉尼真空計測量(輔助泵和使用的油是標(biāo)準(zhǔn)的)。
*3 不兼容隔爆和防爆結(jié)構(gòu)。
*4 可選擇氟油(J25F)。
*5 請?jiān)跓o結(jié)露的環(huán)境下使用。
*6 對于其他尺寸,請檢查我們網(wǎng)站上發(fā)布的 CAD 數(shù)據(jù)。


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