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玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司
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當(dāng)前位置:玉崎科學(xué)儀器(深圳)有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>愛發(fā)科真空泵>> HR60/HR90/HR300/HR600日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號HR60/HR90/HR300/HR600

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

更新時間:2024-11-25 17:16:51瀏覽次數(shù):188次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品類型 有油泵
價格區(qū)間 面議 儀器種類 真空泵
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,綜合
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科HR60/HR90/HR300/HR600多級羅茨干式真空泵
日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵

日本進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科多級羅茨干式真空泵


通過在高溫范圍內(nèi)均勻加熱泵體,
泵能夠?qū)VD、蝕刻等過程中產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)以氣態(tài)排出。

特征


  • 可以將在高溫區(qū)域的均熱CVD、蝕刻等中產(chǎn)生的升華廢氣以氣態(tài)排出。
    UR系列可以達(dá)到比HR系列更高的溫度。


  • 配備氦氣密閉電機(jī),密封結(jié)構(gòu),安全性高。

  • 瞬時停電對策
    我們采取了防止1000毫秒內(nèi)瞬時停電的措施。

  • 優(yōu)異的耐腐蝕性
    主要部件標(biāo)準(zhǔn)采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊表面處理。當(dāng)腐蝕性氣體排出時,減少泵內(nèi)部的腐蝕。

  • 通訊功能
    可以讀取有關(guān)泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報歷史記錄的數(shù)據(jù)。通過使用專用軟件并與計算機(jī)通信,可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用途

  • CVD 裝置

  • 蝕刻設(shè)備

  • 灰化裝置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

規(guī)格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵決策支持系統(tǒng)HR60HR90HR60HR90HR90
甲基丙烯酸甲酯--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
抽速 
50赫茲立方米/小時(升/
分鐘)
62(1030)112(1860年)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60赫茲立方米/小時(升/
分鐘)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
到達(dá)圧力出色地50.67     
最大入口壓力
(吸入壓力)

大氣壓*1
最大排氣口壓力
(排出壓力)
出色地1~大氣壓
進(jìn)氣口(CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80 (KF50)VG80 (KF80)VG100(KF100)
排氣口KF40
質(zhì)量公斤180245275370420
電力三相交流電壓(赫茲)200(50/60), 220(60)
當(dāng)前值穩(wěn)定狀態(tài)一個7.1
(200V時)
11.2
(200V時)
7.8
(200V時)
12.9
(200V時)
15.4
(200V時)
最大值一個7.3
(200V時)
11.8
(200V時)
8.1
(200V時)
13.8
(200V時)
18.9
(200V時)
冷卻水暫壓兆帕0.1~0.3
冷卻水進(jìn)出水壓差兆帕>0.1
冷卻水流量升/分鐘>5.0
吹掃氣體一次壓力兆帕0.1~0.5
二次壓力兆帕0.05~0.1
氮?dú)?/span>吹掃空間光調(diào)制器5
加斯巴拉空間光調(diào)制器0~45

*1 對于 HR300、HR600 和 HR1200,請勿在吸入壓力 200Pa 或更高的情況下連續(xù)運(yùn)行。


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