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當前位置：玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司>>ULVAC愛發(fā)科>>離子注入機>> IH-860PSIC日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號IH-860PSIC
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地深圳市
更新時間：2024-11-25 14:44:57瀏覽次數(shù)：449次
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日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體中電流離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體兼容高能離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機
日本ULVAC愛發(fā)科半導(dǎo)體SiC 高溫離子注入機
這是配備高溫ESC的用于SiC量產(chǎn)的高能離子注入機。
可自動連續(xù)高溫處理注入
可注入高達 350keV 的單價離子和 700keV 的雙電荷離子
（可選支持高達 430keV 的單價離子和 860keV 的雙電荷離子）
雙端站實現(xiàn)高吞吐量
（A系統(tǒng)4"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)3"高溫電調(diào)、A系統(tǒng)6"高溫電調(diào)/B系統(tǒng)6"常溫電調(diào)等，規(guī)格可根據(jù)客戶需求訂做愿望）
可進行鏈條注射，減輕操作員負擔
緊湊型設(shè)計
從原型到批量生產(chǎn)，我們提供廣泛的支持。
SiC用離子注入機
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