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產(chǎn)地類(lèi)別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	1-5萬(wàn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子,電氣,綜合

日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 特點(diǎn)介紹

●節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

●快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對(duì)樣品無(wú)熱損傷。

●可濺射/蝕刻

●可以通過(guò)移動(dòng)樣品臺(tái)來(lái)調(diào)整到目標(biāo)的距離。

●惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī)

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見(jiàn)下文）

例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器

日本filgen濺射/碳鍍膜機(jī)系統(tǒng)多功能高精度 12155-AB/12155E-AB 規(guī)格參數(shù)

模型 12155-AB 12155E-AB 12155Q-AB 12155EQ-AB

類(lèi)型基本的帶膜厚監(jiān)測(cè)儀具有蝕刻模式和

膜厚監(jiān)視器

電源 AC110V 50Hz(60Hz)

配件 Au靶材厚度76μm/陰極57mmφ

作品真空控制基座單元

碳涂層機(jī)模塊（帶碳纖維頭）

濺射鍍膜機(jī)模塊

― 晶體諧振器膜厚監(jiān)測(cè)器

*不能與碳鍍膜機(jī)一起使用。

● 節(jié)省空間/臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)

● 快速鍍膜（金鍍層在 20 秒內(nèi)電流可達(dá) 200A）——對(duì)樣品無(wú)熱損傷。

● 可濺射/蝕刻

● 可以通過(guò)移動(dòng)樣品臺(tái)來(lái)調(diào)整到目標(biāo)的距離。

● 惰性氣體 - 輸入/輸出端口/可進(jìn)行樣品臺(tái)冷卻

● 提供各種靶材（Au、Au/Pd、Pt、Pd、Ag）（可選）

● CE、RoHS（有害物質(zhì)限制）：符合歐盟有害物質(zhì)法規(guī)

● 多種組合可實(shí)現(xiàn)多種選擇（*見(jiàn)下文）

例） ① 有蝕刻模式 ② 有膜厚監(jiān)視器 ③ 有蝕刻模式+膜厚監(jiān)視器

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