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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備>>3 CVD>> Propel 300mm GaN金屬化學(xué)氣相沉積MOCVD
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號Propel 300mm GaN
品牌Veeco
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時間：2024-08-13 16:07:47瀏覽次數(shù)：267次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)Propel™ 300mm全自動單晶圓簇系統(tǒng)是經(jīng)過行業(yè)驗證的GaN MOCVD工具，能夠在300mm襯底上生產(chǎn)5G RF、Photonic和先進的CMOS器件。
Propel 300mm 系統(tǒng)采用單晶圓反應(yīng)器平臺，能夠在 300mm 晶圓上生產(chǎn)的高質(zhì)量外延膜，具有出色的均勻性、可重復(fù)性和產(chǎn)量。Propel 300mm 系統(tǒng)可配置多達 3 個模塊化集群室，并提供自動化的膜包到膜包處理，以實現(xiàn)最大的靈活性和生產(chǎn)率。
單晶圓反應(yīng)器基于 Veeco TurboDisc® 設(shè)計，包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技術(shù)，可在整個晶圓上提供層流和均勻的溫度分布?？蛻艨梢暂p松地將工藝從 Veeco 單晶圓反應(yīng)器 Propel 和 Propel HVM 系統(tǒng)轉(zhuǎn)移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng)，以便快速開發(fā)到生產(chǎn)。
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