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當(dāng)前位置：深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司>>其他前道工藝設(shè)備>>6 清洗設(shè)備>> TSC-150C/200CCMP后清洗機(jī)
| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號TSC-150C/200C
品牌特思迪
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地深圳市
更新時(shí)間：2024-09-06 11:22:51瀏覽次數(shù)：180次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 化工儀器網(wǎng)該系列設(shè)備是碳化硅晶圓拋光后的專用清洗設(shè)備，采用連線式結(jié)構(gòu)，設(shè)備加配全自動(dòng)上下片系統(tǒng)。該系列設(shè)備配有漂洗、雙面刷洗、兆聲清洗、N2吹干、高速甩干功能，集成度高，占地面積小，濕進(jìn)干出，適用于碳化硅晶圓拋光后的清洗。
產(chǎn)品特點(diǎn)
全自動(dòng)系統(tǒng)
皮帶傳動(dòng)， cassette in/out 干進(jìn)干出
PLC控制系統(tǒng)
觸摸屏操作
清洗工藝
預(yù)清洗/雙面刷洗/藥液噴霧漂洗 /兆聲噴淋/高速甩干/氮?dú)獯蹈?/span>
刷子類型
PVA 刷, 雙面刷洗
性能參數(shù)
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