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深圳市矢量科學儀器有限公司

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高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號DZ350

品牌沈陽科儀

廠商性質經(jīng)銷商

所在地沈陽市

更新時間:2024-09-05 14:33:48瀏覽次數(shù):196次

聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)
產(chǎn)品概述:
高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。
設備用途:
熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程。可在高真空下蒸發(fā)高質量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應用于物理,生物,化學,材料,電子等領域。

1.產(chǎn)品概述:

該設備主要由有機/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測量系統(tǒng);蒸發(fā)源;樣品加熱控溫;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。

2.產(chǎn)品應用:

在實際應用中,這種系統(tǒng)常用于半導體、光電子、有機電子等域,用于制備各種有機薄膜、金屬薄膜或復合薄膜,以滿足不同器件和材料的研究與開發(fā)需求。

3.真空室:

沈陽科學儀器的高真空有機及熱阻蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng) DZ350的詳細介紹可能因具體型號和配置而有所不同

真空室結構:U形開門

真空室尺寸:φ350×400mm

限真空度:≤6.6E-5Pa

沉積源:2個鎢舟、2個有機源

樣品尺寸,溫度:50mmx50mm,1片,高300℃

占地面積(長x寬x高):約2.5米×1.2米×1.8米

電控描述:采用先進的控制系統(tǒng),方便用戶設置和調整工藝參數(shù),如蒸發(fā)溫度、沉積時間等。

手動:樣品臺:擁有可旋轉或可移動的樣品臺,以便均勻沉積薄膜。

工藝:不含工藝





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