一、產(chǎn)品概述：

智能型多功能橢偏儀是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，用于分析薄膜材料的光學(xué)特性和厚度。該儀器結(jié)合了橢偏技術(shù)和智能化控制系統(tǒng)，能夠提供實(shí)時(shí)測(cè)量和數(shù)據(jù)分析，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電材料和表面科學(xué)等領(lǐng)域。

Smart SE 是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）。

二、設(shè)備用途/原理：

·設(shè)備用途

智能型多功能橢偏儀主要用于測(cè)量薄膜的折射率、消光系數(shù)和厚度，適用于各種薄膜材料的研究，包括氧化物、氮化物和有機(jī)材料。它在半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層開發(fā)和材料表征等方面發(fā)揮著重要作用，幫助工程師和研究人員優(yōu)化材料性能。

·工作原理

橢偏儀的工作原理基于光的偏振狀態(tài)變化。當(dāng)偏振光照射到樣品表面時(shí)，反射光的偏振狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，這種變化與材料的光學(xué)性質(zhì)及薄膜厚度相關(guān)。智能型橢偏儀通過(guò)檢測(cè)反射光的偏振狀態(tài)，利用數(shù)學(xué)模型分析光學(xué)參數(shù)。通過(guò)智能化的軟件系統(tǒng)，儀器能夠自動(dòng)進(jìn)行測(cè)量、數(shù)據(jù)處理和結(jié)果分析，提高了測(cè)試的效率和準(zhǔn)確性。

三、主要技術(shù)指標(biāo)：

1. Smart SE 是一款通用型薄膜測(cè)量工具。測(cè)試速度快，準(zhǔn)確。它可以表征幾埃到20µm薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)（n, k）以及薄膜結(jié)構(gòu)特性（如粗糙度、光學(xué)梯度及各向異性等）

2. 光譜范圍：450nm to 1000nm

3. 光譜分辨率：優(yōu)于3nm

4. 光源：鹵素?zé)艉退{(lán)光LED

5. 測(cè)試時(shí)間：小于1到10

6. 光斑尺寸:

   75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

   100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

   250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

   500µm*500µm

7. 入射角：450 to 900 ，步徑50

8. 樣品尺寸：200mm以內(nèi)

9. 樣品準(zhǔn)直：手動(dòng)調(diào)整樣品臺(tái)高度（17mm以內(nèi)）和傾角

10. 空氣對(duì)射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

11. 厚度準(zhǔn)確性：0.04%

12. 厚度重復(fù)性：±0.02%

13. 可選附件：

      全自動(dòng)量角器，入射角度從450 到900可調(diào)，步徑0.010

      可通過(guò)法蘭耦合在反應(yīng)腔實(shí)現(xiàn)在線監(jiān)測(cè)

      冷熱臺(tái)，液體樣品池和電化學(xué)反應(yīng)池

      十字星自準(zhǔn)直系統(tǒng)