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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> 原裝spellman靜電卡盤 夾具
在半導(dǎo)體和液晶面板制造過程中，真空吸盤和機(jī)械吸盤系統(tǒng)通常用于固定基板以進(jìn)行處理。然而，由于吸附、變形的影響以及對提高可靠性的要求，利用靜電力的卡盤已被廣泛采用在當(dāng)今一代半晶圓設(shè)備中以克服這些限制。原裝spellman靜電卡盤 夾具
靜電吸盤由帶有表面電極的壓盤組成，這些電極被高壓偏置以在壓盤和晶片之間建立靜電力。
靜電卡盤有2種類型：Coulomb 和 Johnsen-Rahbek (J-R) 類型。它們的區(qū)別在于它們的介電特性，因此為產(chǎn)生夾緊力的方式。Coulomb卡盤的功能類似于傳統(tǒng)的介電電容器。原裝spellman靜電卡盤 夾具
J-R 型電阻大但有限，因此當(dāng)表面緊密接觸并施加電壓時(shí)，電流會(huì)流過它和基板。 電荷積聚在基板和電介質(zhì)之間的界面，提供夾持力。
此外，夾頭上電極（或極點(diǎn)）的不同配置用于獲得不同的特性。 可根據(jù)應(yīng)用提供單極、雙極（兩極）和多極卡盤（包括 6 相六極類型）。
Spellman 可為全系列電子卡盤提供電源，其功能包括：
高壓雙極輸出（正/負(fù)），
輸出極性反轉(zhuǎn)功能，使晶圓夾持/脫夾持更容易，127 / 5000
通過電容測量（Coulomb卡盤）或電流測量（J-R 卡盤）檢測晶片狀態(tài)的能力，
模擬和數(shù)字接口，可輕松集成到各種系統(tǒng)中，
高可靠性，機(jī)械繼電器自由設(shè)計(jì)。
斯派曼提供廣泛的設(shè)計(jì)知識(shí)和制造能力，因此可以提供廣泛的定制產(chǎn)品以滿足各種要求。根據(jù)應(yīng)用，這可能還包括諸如高壓偏置/偏移和 R.F. 過濾
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