PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統
中小型 量產級 多功能
PLUTO-30型等離子清洗機,等離子處理機,等離子去膠機是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網絡電源在整個過程區(qū)域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統的應用范圍，提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30型等離子清洗機/表面處理機/去膠機特征及優(yōu)勢
氣體輸送系統，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置
射頻系統提供的工藝重復性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息
臺式設計需要較小的占地面積
典型應用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：預壓模粘合；預焊線粘合
增強表面膠體流動性：預成型；預倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應力，改善表面粘結性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)
電介質/III-IV材料
納米涂層（配備液體前體輸送裝置）
耐水納米涂層：印刷電路板表面處理
防腐納米涂層：醫(yī)療器械，醫(yī)療植入物
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